2D- und 3D-Messtechnik
Genaue zwei- und dreidimensionale Messtechniken ermöglichen die zuverlässige Überprüfung von Regelgeometrien und Freiformflächen. Das METAS unterstützt dieses Fachgebiet mit eigenentwickelten und weltweit einzigartigen Messsystemen.
2D- und 3D-Messtechnik im Alltag
Die zweidimensionale Messtechnik ermöglicht die genaue Bestimmung der X- und Y-Koordinaten ausgewählter Punkte auf dem Prüfling, beispielsweise einer Photomaske. Die dreidimensionale Messtechnik erfasst zusätzlich die Z-Koordinate und ermöglicht dadurch die Bestimmung komplexer Oberflächengeometrien anhand von 3D-Punktewolken. Mit computertomografischen Verfahren lassen sich darüber hinaus auch innenliegende Bauteilmerkmale dreidimensional erfassen.
2D-Messtechniken kommen beispielsweise in der Halbleiterindustrie bei der Qualitätssicherung oder in der Pharmaindustrie bei mikroskopischen Untersuchungen zum Einsatz. Das Anwendungsfeld der 3D-Messtechnik erstreckt sich hingegen über weite Bereiche der industriellen Fertigung. Je nach Messaufgabe kommen dabei optische und taktile Messtechniken, oder computertomografische Verfahren zum Einsatz.
Typische Anwendungen der 2D- und 3D-Messtechnik
Die zwei- und dreidimensionale Messtechnik kommt in zahlreichen Anwendungen zum Einsatz:
- Photomaskenmesstechnik: hochgenaue Vermessung von Strukturen auf Photomasken für die Halbleiterfertigung sowie optische Messgeräte
- Koordinatenmesstechnik: Prüfung von Mass-, Form- und Lagetoleranzen an komplexen Bauteilen und Freiformflächen
- Industrielle Computertomographie (CT): zerstörungsfreie dimensionelle Prüfung und Analyse von Innen- und Aussenstrukturen
Unsere Dienstleistungen im Fachgebiet 2D- und 3D-Messtechnik
Kalibrierungen
Durch unsere Kalibrier- und Messdienstleistungen bieten wir Zugang zu weltweit einzigartigen Messsystemen, die während jahrelanger Forschungs- und Entwicklungsarbeit am METAS entwickelt wurden und äusserst geringe Messunsicherheiten aufweisen.
METAS Maskenmessmaschine
- Photomaske: Koordinaten von Strukturen bis 300 mm x 400 mm
- Photomaske mit Prüfkreisen: Durchmesser und Rundheit bis ø1 mm
METAS µCMM und SIP Orion 6
- Mehrkugelnormale
- Konturnormale
- Kugelplatten
- Diverse Masse bis 80 mm (µCMM) und 1200 mm (Orion 6)
METAS CT - metrologische Röntgencomputertomographie
- Formfehler im Vergleich zu CAD Daten von Innen- und Aussenstrukturen
Eine detaillierte Übersicht unserer Kalibrierdienstleistungen im Bereich der 2D- und 3D Messtechnik finden Sie in unserem Dienstleistungskatalog sowie in unseren CMC-Einträgen in der KCDB.
Die von Ihnen gewünschte Dienstleistung ist nicht aufgeführt? Zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren, damit wir gemeinsam eine individuelle Lösung für Ihr Problem finden können.
Inhaltsverzeichnis
Messmethoden und Technologien
Qualität und Expertise
Informationen zur Qualität unserer Dienstleistungen finden Sie auf der Seite «Integriertes Managementsystem».
Anfrage und Kontakt
Labor Länge, Nano- und Mikrotechnik
Eidgenössisches Institut für Metrologie METAS
Lindenweg 50
3003 Bern-Wabern
Weitere Informationen
Kalibrierung
Unsere Kalibrierungen basieren auf national und international rückführbaren Referenzen und gewährleisten höchste Messgenauigkeit sowie die Rückführbarkeit auf das Internationale Einheitensystem (SI) für Messmittel aus Industrie, Forschung und Verwaltung.