Ebenheitsinterferometer – Optische Ebenheitsmessung

Das Ebenheitsinterferometer wird am METAS für die hochgenaue Kalibrierung von Ebenheitsnormalen wie Plangläsern und optischen Spiegeln eingesetzt. Das Messsystem arbeitet nach dem Fizeau-Interferometerprinzip mit einer stabilisierten Helium-Neon-Laserlichtquelle und ermöglicht die berührungslose Bestimmung kleinster Ebenheitsabweichungen im Nanometerbereich.

Zur Messung werden Interferenzstreifen zwischen einem hochgenauen Referenzplanglas und dem Prüfling erzeugt. Durch eine piezogesteuerte Phasenverschiebung und die Auswertung der Interferenzbilder mit einer CCD-Kamera wird die Oberflächentopographie des Prüflings mit hoher Genauigkeit bestimmt. Das interferometrische Messverfahren gewährleistet eine rückführbare und flächige Charakterisierung optischer Präzisionsflächen.

Das Ebenheitsinterferometer eignet sich für Plangläser und Spiegel bis 95 mm Durchmesser. Für Ebenheitsmessungen werden Messunsicherheiten ab 10 nm erreicht und damit Kalibrierungen optischer Referenzflächen auf höchstem metrologischem Niveau ermöglicht.