METAS-Endmass-Interferometer

Das METAS-Endmass-Interferometer für lange Parallelendmasse besteht aus einem schwingungsgedämpften Optikmesstisch mit Laserinterferometeraufbau und einer temperatur- und schallisolierenden Haube mit Klappe. Der Messtisch trägt die Interferometeroptik, während die Kamera für die Bildverarbeitung an der Haube befestigt ist. Alle zusätzlichen elektronischen Messinstrumente sind im Elektronikrack mit direkter Belüftung untergebracht.

Um eine eindeutige Endmasslänge zu erhalten, wird die Anzahl der ganzen Interferenzen N bestimmt werden. Dies wird einerseits durch eine mechanische Vorbestimmung der Länge und andererseits durch Phasenmessungen mit 3 verschiedenen Wellenlängen erreicht. Es werden 3 Laser verwendet: Einen roten modenstabilisierten He-Ne Laser, einen grünen modenstabilisierten He-Ne Laser und einen grünen jodstabilisierten Nd:YAG Laser.

Die Bestimmung des Kalibrierwertes der Endmasslänge erfolgt über den grünen jodstabilisierten Nd:YAG Laser. Der Wert des roten He-Ne Laser, der durch einen direkten Vergleich mit dem Primärnormal der Meterbasis kalibriert wird, dient zur Validierung. Der grüne modenstabilisierten He-Ne Laser dient für die Absicherung von N.

Das METAS Parallelendmassinterferometer kann Parallelendmasse von 125 mm bis 1000 mm nach ISO 3650 kalibrieren. Die Messung liefert nicht nur das Mittenmass (L), sondern auch die Abweichungsspanne (v), die Ebenheit (fe) und die Parallelität der Endmassflächen (fd).