METAS Masken Messmaschine

Die am METAS entwickelte Photomaskenmessmaschine ist ein optisches 2-Koordinatenmessgerät mit einem Messbereich von 400 mm x 300 mm.

Die zu vermessenden Strukturen werden mit einem Auflichtmikroskop erfasst und mittels digitaler Bildverarbeitung ausgewertet. Dank einem präzisen luftgelagerten X-Y Verschiebetisch, einem differentiellen 2-Achsen Interferometer sowie einem Referenzspiegelträger aus temperaturstabiler Glaskeramik (Zerodur) werden Messunsicherheiten von Q[50 nm, 0.1E-6xL] erreicht.

Entscheidend für die geringe Messunsicherheit ist ebenfalls die speziell konzipierte Messkabine im Reinraumbereich des METAS, die eine konstante Temperatur von 20 °C mit Schwankungen von nur wenigen 0.05 °C gewährleistet. Die Messkabine ist als Reinraum der Klasse ISO 5 gemäss der ISO 14644- ausgelegt.

Zusätzlich zu den Messwerten erhalten Kunden bei jeder Kalibrierung einer 2D-Photomaske ein Auswerteprogramm. Dieses unterstützt die Charakterisierung von 2D-Messgeräten wie Projektoren, Messmikroskopen und optischen 2D-Koordinatenmessmaschinen gemäss ISO 10360.