METAS Mikro-Koordinatenmessmaschine (µ-CMM) – Dreidimensionale Präzisionsmesstechnik

Die Mikro-Koordinatenmessmaschine (µ-CMM) wurde vom METAS in Zusammenarbeit mit der EPFL, MECARTEX und Philips CFT entwickelt und ist für die hochgenaue dreidimensionale Vermessung von Mikrobauteilen und Präzisionskomponenten ausgelegt. Das Messsystem kombiniert einen interferometrisch überwachten Präzisions-Verschiebetisch mit einem speziell entwickelten Tastsystem, dessen Messkraft von weniger als 0,5 mN auch die Vermessung empfindlicher Werkstücke ohne plastische Verformung ermöglicht.

Neben der Einzelpunktmessung unterstützt die µ-CMM auch kontinuierliche Scanmessungen komplexer Freiformgeometrien. Die interferometrische Positionsmessung sowie die hochgenaue Tastertechnologie ermöglichen die zuverlässige Erfassung kleinster Form- und Lageabweichungen. Durch numerische Simulationen des Messablaufs (Virtuelles KMG) werden zudem werkstück- und anwendungsspezifische Messunsicherheiten bestimmt.

Die Mikro-Koordinatenmessmaschine verfügt über ein Messvolumen von 90 mm × 90 mm × 38 mm und erreicht für Einzelmesspunkte Messunsicherheiten bis zu 50 nm sowie eine Antastwiederholbarkeit von 5 nm.