Rasterkraftmikroskop (Atomic Force Microscope, AFM)

Ein Rasterkraftmikroskop (AFM) tastet eine Oberfläche mit einer sehr feinen Spitze ab. Die dabei aufgezeichneten Koordinaten ermöglichen die Erstellung eines dreidimensionalen Abbilds der Oberfläche. Bei technischen Objekten können Auflösungen im Subnanometerbereich erreicht werden

Das am METAS verwendete Rasterkraftmikroskop (AFM) ist ein kommerzielles Gerät (Model: NX10) der Firma Park. Das Messsystem besteht aus dem AFM Gerät auf einem aktiven 6 Achsen Vibrationsdämpfungstisch, einer Accoustic Hood sowie der Steuerungskomponenten. Mit dem AFM können sphärische Referenzpartikel mit einem mittleren Durchmesser von 50 nm bis 1.0 µm gemessen bei einer Messunsicherheit von Q[2.5 nm, 0.02*h] werden.