Tastschnittgerät MarSurf LD 130

Das METAS setzt bei der Oberflächenmessung auf das Tastschnittgerät MarSurf LD 130, das eine genaue Bezugsfläche besitzt. Die Tastarmauslenkung wird optoelektrisch mit Hilfe eines Beugungsgitters gemessen. Bei einer Tastarmlänge von 100 mm beträgt der Messbereich für Profilmessungen 130 mm horizontal und 13 mm vertikal. Die Diamanttastspitze der Tastnadel hat üblicherweise einen Spitzenradius von 2 µm und einen Kegelwinkel von 90° oder 60°. Die statische Messkraft kann von 0.5 mN bis 30 mN eingestellt werden (0.72 mN nach Norm).

Folgende Messbereiche und Unsicherheiten werden für die unten dargestellten Messgrössen erreicht: