TESA Parallelendmass-Interferometer

Die Endmasse der höchsten Genauigkeitsklassen werden am METAS für Längen bis zu 100 mm in vertikaler Position mit einem automatischen NPL-TESA-Endmassinterferometer kalibriert. Die interferometrische Messung basiert auf der Bestimmung des Bruchteils eines Interferenzstreifens (Fringe Fraction) mit zwei oder drei frequenzstabilisierten He-Ne-Lasern unterschiedlicher Wellenlängen. Primäre Anwendung ist die interferometrische Absolutmessung von Endmassen aus Stahl, Hartmetall, Keramik und Zerodur® im Bereich von 0.5 mm bis 100 mm. Gemessen wird das Mittenmass der Endmasse, die Abweichung von der Ebenheit, sowie die Abweichungsspanne.